使用地点：海南师范大学物理与电子工程学院
(海南师范大学物理与电子工程学院物理楼104室)
L-MBE450E激光分子束外延装置是制备纳米薄膜材料的主要仪器设备之一，利用激光的高能量密度将部分靶材蒸发甚至电离，使其脱离靶材进而在基底上沉积，从而形成薄膜的一种方式。
该仪器利用高能量的激光器，可用于溅射各种难熔材料，而且不同成分全部溅射，可以得到与靶材成分一致的多元化合物薄膜;溅射既可在真空下也可在较高环境气压下进行，适合生长复杂的氧化物薄膜和各种不同性质的材料;激光源、靶、衬底相互独立，可分别控制。可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜。极限真空度5×10-7Pa，最高衬底温度8000C。
负责人：孙丽
电话：189 7638 4917
