使用地点：海南师范大学物理与电子工程学院
(海南师范大学国家大学科技园C栋105号海南省激光技术与光电功能材料重点实验室)
ZZS-720型电子束镀膜机通过电子枪发射高速电子流，在高真空环境下轰击材料表面，使靶材蒸发并沉积到元件表面，形成高纯度和良好附着力的薄膜。其主要组成部分包括真空系统、蒸发室、工件夹具、基片烘烤、电阻蒸发源、离子源轰击电源、电子束蒸发源、抽气系统、充气系统、石英晶体膜厚控制仪、膜厚均匀性修正板装置、触摸屏自动控制系统和电气控制系统。其特点包括高真空环境、可控蒸发速率、多材料适用性、多功能性和自动化控制。该设备广泛应用于光学、电子、装饰防护和科研实验领域，制备抗反射涂层、半导体器件、耐磨涂层等。
负责人：曲轶
电话：188 8927 6598
